중대형 오존발생기

OZ-150

OZ-150 산소발생기 별도형
오존발생량(g/hr)
150
상용오존농도(g/㎥)
140 이상
소비전력(kW)
3
전원사양(V,Hz)
220, 60
제품 중량(kg)
수냉식
크기(W*D*H(mm))
900x600x1485
중량농도(wt%)
9.8 이상
적용분야
  • 반도체 공정반도체 공정

· 냉각방식 : 수냉식

· 유랑계 : 25LPM

· 오존농도조절 : 산소 유량, 볼륨 조절

· 표시장치 : 1.전원 : LED 표시 / 2.유량계 : 산소유량조절

· 오존발생량제어 : 산소 유량, 볼륨 조절

· Inlet,Oulet Fitting :1.GAS : 6mm / 2.Water : 10mm

· 외함 주요 재질 : SUS304